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涂胶显影机

前道涂胶显影机

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  • F 型架构产品知足大规模量产需要 ,多层单位?榛杓 ,Coater/Developer/AD/HP/CP等单位无邪组合 ,可选辅助功效配件实现差别工艺生产需求 ,可选与光刻机联线功效 ,知足半导体前道/高端封装/MEMS 等差别工艺生产的客户需求
  F 型架构产品知足大规模量产需要 ,多层单位?榛杓 ,Coater/Developer/AD/HP/CP等单位无邪组合 ,可选辅助功效配件实现差别工艺生产需求 ,可选与光刻机联线功效 ,知足半导体前道/高端封装/MEMS 等差别工艺生产的客户需求 。
  . 适用于 8 英寸或 12 英寸产品
  . 基材:硅晶圆 ,玻璃
  . 适用于 front-end ,Krf ,i-line ,等产品生产
  . 适用于 Advantage Package ,PI ,SOD ,等产品生产
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  . 图形化的人机交互界面

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